Publicaciones

• Article dans une revue

Modeling and experimental validation of sharpening mechanism based on thermal oxidation for fabrication of ultra-sharp silicon nanotips

Vincent Agache, Roger Ringot, Patrice Bigotte, Vincent Senez, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard

This paper aims at modeling the thermal oxidation of silicon pillars leading to the formation of very sharp silicon tips. The model is used to determine optimum process parameters with respect to the initial shape of the silicon pillars and the geometry of the desired tip. The modeling concept is...

IEEE Transactions on Nanotechnology, 2005, 4, pp.548-556. ⟨10.1109/TNANO.2005.851386⟩. ⟨hal-00125632⟩

• Communication dans un congrès

Characterization of vertical vibration of electrostatically actuated resonators using Atomic Force Microscope in noncontact mode

Vincent Agache, Bernard Legrand, K. Nakamura, H. Kawakatsu, Lionel Buchaillot, Hiroshi Toshiyoshi, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita

Non contact mode atomic force microscope (AFM) direct characterization of out-of-plane fixed-fixed high frequency microelectromechanical resonators is examined while applying the excitation voltage to integrated electrostatic transducers. Non contact mode is rather used than contact mode in order...

The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005, Jun 2005, Seoul, South Korea. pp.2023-2026, ⟨10.1109/SENSOR.2005.1497499⟩. ⟨hal-00125631⟩

• Communication dans un congrès

A Bi-stable Micro-machined Piezoelectric Transducer for Mechanical to Electrical Energy Transformation

Karim Dogheche, B. Cavallier, P. Delobelle, L. Hirsinger, Eric Cattan, Denis Remiens, M. Marzencki, B. Charlot, Skandar Basrour, S. Ballandras

This paper presents a scavenging energy application of piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (pMUT). The micro power generator is composed by a silicon membrane (600µm diameter and 1µm thickness) with a 2µm thick PZT layer. The mechanical energy is converted to electrical energy...

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP'05), June 1-3, 2005, Montreux, Switzerland. pp.303-304. ⟨hal-00009224⟩

• Article dans une revue

Targeted deletion of Kv4.2 eliminates I(to,f) and results in electrical and molecular remodeling, with no evidence of ventricular hypertrophy or myocardial dysfunction

W. Guo, W. E. Jung, Céline Marionneau, F. Aimond, H. Xu, K. A. Yamada, T. L. Schwarz, S. Demolombe, J. M. Nerbonne

Circulation Research, 2005, 97 (12), pp.1342-50. ⟨10.1161/01.RES.0000196559.63223.aa⟩. ⟨hal-02363774⟩

• Communication dans un congrès

Caractérisation THz de lignes de Goubau par échantillonnage électro-optique pour BioMEMS cellulaire

A. Treizebre, Tahsin Akalin, L. Desplanque, Jean-Francois Lampin, Bertrand Bocquet

7èmes Journées des Phénomènes Ultra-rapides, 2005, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00147497⟩

• Communication dans un congrès

Investigation THz de cellules vivantes

A. Treizebre, Tahsin Akalin, Bertrand Bocquet

Actes des 3èmes Journées Térahertz, 2005, Aussois, France. ⟨hal-00247708⟩

• Article dans une revue

Auscultation non destructive du chevêtre du pont de la Marque (59)

G. Klysz, J.F. Lataste, A. Fnine, X. Derobert, Bogdan Piwakowski, F. Buyle-Bodin

Revue Européenne de Génie Civil, 2005, 10, pp.7-24. ⟨hal-00247718⟩

• Communication dans un congrès

Adaptive multi-path channel estimation in CDMA based on prefiltering : combination with a linear equalizer

E. Simon, L. Ros

Proceedings of the 14th IST Mobile and Wireless Communications Summit, 2005, Dresden, Germany. ⟨hal-00247774⟩

• Article dans une revue

The effect of LaNiO3 bottom electrode thickness on ferroelectric and dielectric properties of (100) oriented PbZr0.53Ti0.47O3 films

G.S. Wang, Denis Remiens, Caroline Soyer, El Hadj Dogheche, Eric Cattan

The (1 0 0) oriented LaNiO3 (LNO) films with different thickness were prepared on SiO2/Si substrate by a modified metallorganic decomposition process. PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) films (∼1 μm) subsequently deposited on LNO by modified sol–gel process. The X-ray diffraction measurements show PZT films...

Journal of Crystal Growth, 2005, 284 (1-2), pp.184-189. ⟨10.1016/j.jcrysgro.2005.07.014⟩. ⟨hal-00130818⟩

• Communication dans un congrès

Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide

Anne-Sophie Rollier, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard

Cet article présente la mise en œuvre d'actionneurs électrostatiques fonctionnant en milieu liquide par le biais d'une complète encapsulation des parties structurelles avec du nitrure de silicium peu contraint. Ces actionneurs ont été fabriqués et caractérisés. L'actionnement a été...

17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04203498⟩