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  • Communication dans un congrès

Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy

Fei Wang, Nicolas Clément, Damien Ducatteau, David Troadec, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Didier Theron

Nous présentons une façon de caractériser quantitativement des capacités sous échelle de 10 nm à l'aide d'un scanning-microwave-microscope modifié avec un interféromètre (iSMM). Des milliers de capacités à l'échelle nanométrique (nanoplots) et un kit de capacités de calibrages sont...

17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p. ⟨hal-01018379⟩

  • Communication dans un congrès

[Invité] Emergence des ISFETs 0D : un nouvel outil pour la récupération d'énergie et la détection de bio-molécules uniques

Nicolas Clément

6ème Réunion Plénière du GdR Nanofils, 2014, Toulouse, France. ⟨hal-01055041⟩

  • Communication dans un congrès

Matériaux lithiés obtenus par dépôt physique et chimique en phase vapeur pour microbatterie Li-ion

Manon Letiche, Etienne Eustache, Pascal Roussel, Christophe Lethien

Journées Nord-Ouest Européennes des Jeunes Chercheurs, JNOEJC 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-01009970⟩

  • Communication dans un congrès

Nouvelle technologie de contact pour CMOS FD-SOI 10nm et en deçà le contact dipolaire

Julien Borrel, Louis Hutin, Magali Grégoire, Fabrice Nemouchi, Olivier Rozeau, Emmanuel Dubois

Il a récemment été démontré [1] que l'insertion d'une bicouche de diélectriques entre le métal et le semiconducteur d'un contact pouvait induire une réduction significative de la résistance spécifique. Cet ajout permet dans un premier temps de relâcher l'ancrage du niveau de...

17es Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 4 p. ⟨hal-01020275⟩