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Kinetics of RPECVD organosilicon polymer post-treatment in a N2/O2 microwave plasma remote afterglow

S. Abou Rich, V. Mille, Céline Vivien, S. Godey, P. Supiot

Plasma Processes and Polymers, 2010, 7, pp.775-784. ⟨10.1002/ppap.200900185⟩. ⟨hal-00549497⟩

H. Mrabet, Iyad Dayoub, R. Attia, W. Hamouda

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G. Guisbiers, E. Herth, Bernard Legrand, N. Rolland, T. Lasri, L. Buchaillot

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A. Noudeviwa

13èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2010, 2010, France. pp.CD-ROM, Session Matériaux 1. ⟨hal-00572216⟩

Anne-Christine Hladky, Jerome O. Vasseur, Charles Croënne, J.-P. Groby, Bertrand Dubus, Bahram Djafari-Rouhani, A. Tinel, B. Morvan

10ème Congrés Français d'Acoustique, CFA 10, 2010, France. pp.1-4. ⟨hal-00572205⟩

Christophe Rodriguez

2010. ⟨hal-00572703⟩

Olivier Offranc

2010. ⟨hal-00572693⟩

Tahsin Akalin, Wenchen Chen, Ibrahim Türer, Willie J. Padilla

3rd International Photonics and Optoelectronics Meetings, POEM 2010, 2010, Wuhan, China. ⟨hal-00573665⟩

E. Moreau, S. Godey, F.J. Ferrer, D. Vignaud, W. Wallart, J. Avila, M.C. Asensio, F. Bournel, J.J. Gallet

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N. Clement, S. Pleutin, David Guérin, D. Vuillaume

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