Publicaciones

• PATENT

Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur

S. Monfray, P. Ancey, T. Skotnicki, K. Segueni

N° de brevet: FR2857952 (A1). 2005. ⟨hal-00372408⟩

• PATENT

Dispositif et procédé de positionnement et de contrôle de véhicules ferroviaires à bande de fréquence ultra large

M. Heddebaut, Atika Rivenq, Jean-Michel Rouvaen, F. Elbahhar, J.P. Ghys

N° de brevet: FR2857644 (A1). 2005. ⟨hal-00372437⟩

• PATENT

Résonateur acoustique de volume à fréquence de résonance ajustée et procédé de réalisation

P. Robert, P. Ancey, G. Caruyer

N° de brevet: FR2857785 (A1). 2005. ⟨hal-00372430⟩

• COMM

An optimal high contrast e-beam lithography process for the patterning of dense fin networks

F. Fruleux, J. Penaud, Emmanuel Dubois, M. Francois, M. Muller

2005, pp.A/PII.01. ⟨hal-00138401⟩

• OTHER

Schémas de modulation et de codage spécifiques pour les communications hauts débits pour les trains à grande vitesse

M. Chennaoui

2005. ⟨hal-00138636⟩

• COMM

A nanofluidic electrospray source fabricated using focused ion beam etching

C. Descatoire, David Troadec, A. Ashcroft, L. Buchaillot, S. Arscott

2005, pp.241-244. ⟨hal-00130827⟩

• COMM

Close infrared thermography using an intensified CCD camera : application in nondestructive high resolution evaluation of electrothermally actuated MEMS

B. Serio, J.J. Hunsinger, F. Conseil, P. Derderian, D. Collard, L. Buchaillot, M.F. Ravat

2005, pp.819-829. ⟨hal-00147502⟩

• COMM

1.1 GHz silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers

Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita, Lionel Buchaillot

For the first time, an electromechanical resonator based on a blade geometry is proposed. This particular geometry allows self-alignment of the mechanical resonator to its lateral electrodes while achieving high eigenfrequencies in the GHz range.

18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005, Jan 2005, Miami Beach, United States. pp.121-124, ⟨10.1109/MEMSYS.2005.1453882⟩. ⟨hal-00125628⟩

• COMM

Microsystèmes : principales applications et contexte national

L. Buchaillot, D. Collard, Bernard Legrand

Ecoles Nanosciences, 2005, Anglet, France. ⟨hal-00126216⟩

• COMM

Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF

Quynh Huong Duong, Xavier Lafontan, Dominique Collard, Lionel Buchaillot, Petra Schmitt, Patrick Pons, F. Pressecq

Cet article étudie les effets de la température sur le comportement de différentes géométries de micro-interrupteurs RF métalliques. Il présente une approche pour compenser la dilatation thermique des micro-interrupteurs par l'optimisation de la conception. A partir d'une géométrie...

17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04270490⟩