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• Article dans une revue

Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process

Etienne Herth, Emmanuelle Algré, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot

This paper presents the optimization of polysilicon doping and metallization to form ohmic contact with etching resistance. Indeed, polysilicon doped by ion implantation and ohmic contacts are an important and interesting part of integrated circuit technology or MEMS and NEMS. LPCVD-polysilicon...

Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩. ⟨hal-02300269⟩

• Communication dans un congrès

A 20-23GHz coupled oscillators array in 65nm CMOS for HDR 60GHz beamforming applications

M. Egot, B. Martineau, O. Richard, N. Rolland, A. Cathelin, A. Kaiser

37th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2011, 2011, Helsinki, Finland. paper ID 5262, 463-466. ⟨hal-00800005⟩

• Communication dans un congrès

Polymer-based flapping-wing robotic insects : progresses in wing fabrication, conception and simulation

T. Vanneste, A. Bontemps, X.Q. Bao, Sébastien Grondel, J.B. Paquet, Eric Cattan

ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-63602-1-8. ⟨hal-00800403⟩

• Communication dans un congrès

Prototyping of a like insect flapping wing object

A. Bontemps, T. Vanneste, X.Q. Bao, J.B. Paquet, Sébastien Grondel, Eric Cattan

International Workshop on Bio-inspired Robots, 2011, Nantes, France. ⟨hal-00591400⟩

• Communication dans un congrès

Visualisation de l'écoulement autour d'une aile d'insecte artificielle

Thomas Vanneste, Jean-Paul Bourez, Jean-Bernard Paquet, Sébastien Grondel, Eric Cattan

Le projet d'insecte artificiel IN-ART vise à la réalisation d'un nano-drone à ailes vibrantes de la taille d'un insecte en s'appuyant sur le biomimétisme pour reproduire ses battements d'ailes. Les prototypes, réalisés à l'aide des techniques de fabrication...

14ème Congrès Français de Visualisation et de Traitement d'Images en Mécanique des Fluides, FLUVISU 14, 2011, Lille, France. pp.1-9. ⟨hal-05028409⟩

• Communication dans un congrès

Modélisation aérodynamique d'un nano-drone à ailes vibrantes

T. Vanneste

9èmes Journées des Doctorants MFE/Nord (DAAP/DAFE/DEFA/DSNA), 2011, Châtillon, France. ⟨hal-00591399⟩

• Article dans une revue

InAs/AlSb HEMTs for cryogenic LNAs at ultra-low power dissipation

G. Moschetti, N. Wadefalk, P.A. Nilsson, Yannick Roelens, A. Noudeviwa, L. Desplanque, X. Wallart, Francois Danneville, Gilles Dambrine, S. Bollaert, J. Grahn

Solid-State Electronics, 2011, 64, pp.47-53. ⟨10.1016/j.sse.2011.06.048⟩. ⟨hal-00639807⟩

• Article dans une revue

Effect of dimensional parameters on the current of MSM photodetector

Abdel-Djawad Boumediène Zebentout, Zouaoui Bensaad, Abdelkader Aissat, Didier Decoster

In this work, we present the influence of dimensional parameters on dark current and photocurrent of the metal–semiconductor–metal photodetector (MSM). MSM photodetectors of different sizes have been fabricated on GaAs (NID). The active area of MSM samples varies between 1×1 μm2 and 10×10 μm2 with...

Microelectronics Journal, 2011, 42, pp.1006-1009. ⟨10.1016/j.mejo.2011.05.002⟩. ⟨hal-00639881⟩

• Article dans une revue

Golden ratio-based and tapered diptera inspired wings : their design and fabrication using standard MEMS technology

X.Q. Bao, Eric Cattan

Journal of Bionic Engineering, 2011, 8, pp.174-180. ⟨10.1016/S1672-6529(11)60023-1⟩. ⟨hal-00603032⟩

• Article dans une revue

Opposition control with arrayed actuators in the near-wall region of a spatially-developing turbulent boundary layer

M. Pamies, E. Garnier, A. Merlen, P. Sagaut

International Journal of Heat and Fluid Flow, 2011, 32, pp.621-630. ⟨10.1016/j.ijheatfluidflow.2011.03.005⟩. ⟨hal-00597083⟩