Publicaciones

• Communication dans un congrès

Nanocomposants AlGaN/GaN : application à la détection THz

P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, Sylvie Lepilliet, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière

17èmes Journées Nationales Micro-ondes, JNM 2011, 2011, Brest, France. papier 305, 2C4, 1-4. ⟨hal-00603132⟩

• Article dans une revue

Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process

Etienne Herth, Emmanuelle Algré, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot

This paper presents the optimization of polysilicon doping and metallization to form ohmic contact with etching resistance. Indeed, polysilicon doped by ion implantation and ohmic contacts are an important and interesting part of integrated circuit technology or MEMS and NEMS. LPCVD-polysilicon...

Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩. ⟨hal-02300269⟩

• Communication dans un congrès

Deposition of crack-free 30 µm AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications

O. Legrani, O. Elmazria, P. Pigeat, A. Bartasyte, S. Zhgoon, Abdelkrim Talbi

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2011, 2011, Orlando, FL, United States. pp.2313-2316, ⟨10.1109/ULTSYM.2011.0574⟩. ⟨hal-00799998⟩

• Autre publication scientifique

Etude et optimisation de dispositifs à base de matériaux faible gap pour applications hautes fréquences et ultra faible consommation

Albert M.D. Noudeviwa

2011. ⟨hal-00799384⟩

• Autre publication scientifique

Mise en oeuvre d'un système de communication OFDM-haut débit dédié aux trains à grandes vitesses

Boudali Ouarzazi

2011. ⟨hal-00799452⟩

• Autre publication scientifique

Fabrication de nanostructures en silicium pour le développement de surfaces superomniphobes et pour la désorption/ionisation assistée par laser de biomolécules en vue de leur analyse par spectrométrie de masse

Thi Phuong Nhung Nguyen

2011. ⟨hal-00799472⟩

• Autre publication scientifique

Modélisation de la croissance des nanofils de Si et métrologie à l'échelle atomique de la composition des nanofils

Wanghua Chen

2011. ⟨hal-00799437⟩

• Autre publication scientifique

Optimisation des transmissions sur réseaux filaires (CPL, ADSL) et application aux transmissions vidéo haute définition

Patrick Corlay

2011. ⟨hal-00799484⟩

• Autre publication scientifique

Etude, conception et réalisation de transitions verticales coaxiales pour une intégration hétérogène 3D de microsystèmes en gamme millimétrique

Romain Crunelle

2011. ⟨hal-00799390⟩

• Communication dans un congrès

Low loss zero-level packaging for high frequency RF applications by using PerMX film photoresist

J. Kim, S. Seok, N. Rolland, P. Rolland

41st European Microwave Conference, EuMC 2011, 2011, Manchester, United Kingdom. pp.273-276. ⟨hal-00799974⟩