Publications

• Article dans une revue

Reactive ion etching of a 20 nanometers tungsten gate using a SF$_6$/N$_2$ chemistry and hydrogen silsesquioxane hard mask resist

G. Larrieu, Emmanuel Dubois

This article reports on a direct method for patterning a tungsten gate in the decananometric range using high-resolution electron-beam lithography and reactive ion etching (RIE). Electron-beam lithography is based on the use of hydrogen silsesquioxane for its remarkable properties as a negative-…

Journal of Vacuum Science and Technology, 2005, 23 (5), pp.2046-2050. ⟨10.1116/1.2050654⟩. ⟨hal-00125635⟩

• Autre publication scientifique

Caractérisation des fluctuations du signal dans les communications optiques par modulation d'intensité et détection directe à travers le canal atmosphérique turbulent

N. Perlot

2005. ⟨hal-00138634⟩

• Article dans une revue

Voltage tuneable terahertz emission from a ballistic nanometer InGaAs/InAlAs transistor

J. Lusakowski, N. Dyakonova, L. Varani, J. Mateos, T. Parenty, A. Cappy, V. Popov, M.S. Shur

Journal of Applied Physics, 2005, 97 (6), pp.064307. ⟨10.1063/1.1861140⟩. ⟨hal-00330467⟩

• Autre publication scientifique

Oscillations Brillouin en acoustique picoseconde colorée

R. Cote

2005. ⟨hal-00138584⟩

• Article dans une revue

Preparation of highly (100)-oriented LaNiO3 nanocrystalline films by metalorganic chemical liquid exposition

G.S. Wang, Q. Zhao, X.J. Meng, J.H. Chu, Denis Remiens

Journal of Crystal Growth, 2005, 277, pp.450-456. ⟨hal-00138414⟩

• Communication dans un congrès

Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMs applications

P. Delobelle, E. Fribourg-Blanc, O. Guillon, Caroline Soyer, Eric Cattan, Denis Remiens

2005, pp.213-221. ⟨hal-00138429⟩

• Autre publication scientifique

Acoustique picoseconde : une acoustique riche en couleurs

Arnaud Devos

2005. ⟨hal-00138587⟩

• Article dans une revue

Ion beam etching of PZT thin films : influence of grain size on the damages induced

Caroline Soyer, Eric Cattan, Denis Remiens

Journal of the European Ceramic Society, 2005, 25, pp.2269-2272. ⟨hal-00138431⟩

• Communication dans un congrès

Microvalves magnéto-statiques et magnétostrictives pour microjets pulsés pour le contrôle actif d'écoulements aérodynamiques

Philippe Pernod, Vladimir Preobrazhensky, O. Ducloux, Abdelkrim Talbi, Y. Deblock, Nicolas Tiercelin, A. Merlen

GDR Contrôle des décollements, 2005, Paris, France. ⟨hal-00137668⟩

• Communication dans un congrès

Multicouches magnétostrictives TbCo/FeCo pour applications microsystèmes

J. Juraszek, S. Masson, O. Ducloux, Nicolas Tiercelin, J. Teillet, Vladimir Preobrazhensky, Philippe Pernod

Congrès Général de la Société Française de Physique, 2005, Lille, France. ⟨hal-00138385⟩