Publicaciones

• Communication dans un congrès

Dry etchnig of PZT thin films for bilayer actuator realization

Caroline Soyer, E. Fribourg-Blanc, Eric Cattan, Denis Remiens

2005, pp.203-211. ⟨hal-00138428⟩

• Article dans une revue

Reactive ion etching of a 20 nanometers tungsten gate using a SF$_6$/N$_2$ chemistry and hydrogen silsesquioxane hard mask resist

G. Larrieu, Emmanuel Dubois

This article reports on a direct method for patterning a tungsten gate in the decananometric range using high-resolution electron-beam lithography and reactive ion etching (RIE). Electron-beam lithography is based on the use of hydrogen silsesquioxane for its remarkable properties as a negative-...

Journal of Vacuum Science and Technology, 2005, 23 (5), pp.2046-2050. ⟨10.1116/1.2050654⟩. ⟨hal-00125635⟩

• Communication dans un congrès

An optimal high contrast e-beam lithography process for the patterning of dense fin networks

F. Fruleux, J. Penaud, Emmanuel Dubois, M. Francois, M. Muller

2005, pp.A/PII.01. ⟨hal-00138401⟩

• Autre publication scientifique

Schémas de modulation et de codage spécifiques pour les communications hauts débits pour les trains à grande vitesse

M. Chennaoui

2005. ⟨hal-00138636⟩

• Communication dans un congrès

A nanofluidic electrospray source fabricated using focused ion beam etching

C. Descatoire, David Troadec, A. Ashcroft, L. Buchaillot, S. Arscott

2005, pp.241-244. ⟨hal-00130827⟩

• Communication dans un congrès

Close infrared thermography using an intensified CCD camera : application in nondestructive high resolution evaluation of electrothermally actuated MEMS

B. Serio, J.J. Hunsinger, F. Conseil, P. Derderian, D. Collard, L. Buchaillot, M.F. Ravat

2005, pp.819-829. ⟨hal-00147502⟩

• Communication dans un congrès

1.1 GHz silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers

Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita, Lionel Buchaillot

For the first time, an electromechanical resonator based on a blade geometry is proposed. This particular geometry allows self-alignment of the mechanical resonator to its lateral electrodes while achieving high eigenfrequencies in the GHz range.

18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005, Jan 2005, Miami Beach, United States. pp.121-124, ⟨10.1109/MEMSYS.2005.1453882⟩. ⟨hal-00125628⟩

• Communication dans un congrès

Microsystèmes : principales applications et contexte national

L. Buchaillot, D. Collard, Bernard Legrand

Ecoles Nanosciences, 2005, Anglet, France. ⟨hal-00126216⟩

• Communication dans un congrès

Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF

Quynh Huong Duong, Xavier Lafontan, Dominique Collard, Lionel Buchaillot, Petra Schmitt, Patrick Pons, F. Pressecq

Cet article étudie les effets de la température sur le comportement de différentes géométries de micro-interrupteurs RF métalliques. Il présente une approche pour compenser la dilatation thermique des micro-interrupteurs par l'optimisation de la conception. A partir d'une géométrie...

17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04270490⟩

• Communication dans un congrès

Organic field effect transistor based on a novel soluble pentacene precursor and operating at low voltages

D. Zander, N. Hoffmann, K. Lmimouni, S. Lenfant, C. Petit, D. Vuillaume

14th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors, 2005, Belgium. pp.394-397, ⟨10.1016/j.mee.2005.04.096⟩. ⟨hal-00247650⟩