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  • Article dans une revue

A micro-electro-mechanical accelerometer based on gallium nitride on silicon

C. Morelle, D. Théron, I. Roch-Jeune, Pascal Tilmant, Etienne Okada, F. Vaurette, Bertrand Grimbert, Joff Derluyn, Stefan Degroote, Marianne Germain, M. Faucher

We report on an accelerometer micro-sensor based on epitaxial gallium nitride and silicon. The device is a vibrating beam accelerometer fabricated with a micro-electro-mechanical-system technology starting from an AlGaN/GaN heterostructure grown on silicon. The vibrating GaN beam has integrated...

Applied Physics Letters, 2023, 122 (3), pp.033502. ⟨10.1063/5.0127987⟩. ⟨hal-03945292⟩

  • Chapitre d'ouvrage

Generalizations

Leonard Dobrzynski, Housni Al Wahsh, Abdellatif Akjouj

Resonance, Elsevier, pp.205-211, 2023, ⟨10.1016/B978-0-44-319144-2.00017-8⟩. ⟨hal-04070656⟩

  • Autre publication scientifique

Advances in Historical Studies [Editor in Chief 12/2]

Raffaele Pisano

2023. ⟨hal-04510937⟩

  • Autre publication scientifique

Comité Stratégique de Filière et Groupe de Travail – EDEC-2

Sandrine Beaufils, Virginie Hoel

Conseil d’orientation du GIP-CNFM 2023, JPCNFM’2023, 29 novembre 2023, Toulouse, France, 2023. ⟨hal-04406418⟩