Publications

• Communication dans un congrès

Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide

Anne-Sophie Rollier, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard

Cet article présente la mise en œuvre d'actionneurs électrostatiques fonctionnant en milieu liquide par le biais d'une complète encapsulation des parties structurelles avec du nitrure de silicium peu contraint. Ces actionneurs ont été fabriqués et caractérisés. L'actionnement a été…

17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04203498⟩

• Communication dans un congrès

Nanomachined electrospray ionisation tips

C. Descatoire, David Troadec, A. Ashcroft, L. Buchaillot, S. Arscott

2005, pp.122-123. ⟨hal-00130658⟩

• Communication dans un congrès

Implementation of a localization and communication system dedicated to guided transports

Yassin El Hillali, C. Tatkeu, Atika Rivenq, Jean-Michel Rouvaen

Proceedings of the 5th International Conference on ITS Telecommunications, ITST-2005, 2005, Brest, France. ⟨hal-00131351⟩

• Communication dans un congrès

Design of Bulk Acoustic Wave RF resonators and filters based on advanced Bragg reflector

G. Caruyer, Arnaud Devos, J.F. Carpentier, R. Vélard, N. Casanova, A. Lefevre, F. Dumont, G. Parat, P. Ancey

2005, pp.906-909. ⟨hal-00131104⟩

• Communication dans un congrès

New package-free silicon microsensors for infrared and thermal flow measurements. Potential automotive applications

M. Haffar, Yala M. Ait-Hammouda, K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq

Proceedings of 2005 Sensors & Actuators for Advanced Automotive Applications, SENSACT 2005, 2005, Noisy-Le-Grand, France. ⟨hal-00131328⟩

• Communication dans un congrès

Development of new thermal systems of human presence detection intended to introduce innovating functionalities into housing

M. Aithammouda, M. Haffar, K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq

Proceedings of 2005 Innovative Technologies for Infrastructure and Housing, 2005, Lille, France. ⟨hal-00131327⟩

• Communication dans un congrès

3D self-assembling of SU-8 microstructures on silicon by plasma induced compressive stress

Jean-Baptiste Bureau, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot

This paper presents the development of suspended movable microstructures made of SU-8 photoresist where compressive stress leads to 3D self-assembled microstructures. Internal compressive stress in the photoresist is induced by an SF/sub 6/ based plasma process. Clamped-clamped beam structures have…

13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05., Jun 2005, Seoul, South Korea. pp.19-22, ⟨10.1109/SENSOR.2005.1496348⟩. ⟨hal-00128655⟩

• Communication dans un congrès

Caractérisation DC-pulsé grand signal de HEMTs de puissance

N. Defrance, H. Gerard, E. Morvan, Jean-Claude de Jaeger

Actes des 14èmes Journées Nationales Microondes, 2005, Nantes, France. ⟨hal-00126751⟩

• Autre publication scientifique

Etude de faisabilité de circuits pour systèmes de communication en bande millimétrique, en technologie BiCMOS SiGeC 0,13 µm

S. Pruvost

2005. ⟨hal-00126188⟩

• Autre publication scientifique

Utilisation des technologies CMOS SOI 130 nm pour des applications en gamme de fréquences

C. Pavageau

2005. ⟨hal-00126201⟩