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Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés

P. Supiot, Céline Vivien, V. Rouessac, S. Roualdes

MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, 2010, France. pp.1-4. ⟨hal-00573205⟩

S. Bertuol, I. Junqua, Virginie Degardin, Pierre Degauque, M. Lienard

15ème Colloque International et Exposition sur la Compatibilité Electromagnétique, CEM 2010, 2010, France. pp.CDROM, E3-1, 1-6. ⟨hal-00573209⟩

C. Sion, K. Ziouche, P. Godts, Z. Bougrioua, T. Lasri, D. Leclercq

Congrès de la Société Française de Thermique, SFT 2010, 2010, Inconnue, France. pp.Vol. 18, 687-690. ⟨hal-00573202⟩

L. Diquelou, Pierre Laly, Virginie Degardin, M. Lienard, Pierre Degauque

15ème Colloque International et Exposition sur la Compatibilité Electromagnétique, CEM 2010, 2010, France. pp.CDROM, E6-4, 1-4. ⟨hal-00573210⟩

H. Ouaddi, S. Baranowski, G. Nottet, L. Kone, N. Idir

15ème Colloque International et Exposition sur la Compatibilité Electromagnétique, CEM 2010, 2010, France. pp.CDROM, M4-5, 1-4. ⟨hal-00573212⟩

J.J Mo

13èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2010, 2010, France. pp.CD-ROM, Session Matériaux 2. ⟨hal-00572218⟩

M. Hofman, D. Lippens, O. Vanbesien

13èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2010, 2010, France. CD-ROM, Session Optoélectronique, 1-3. ⟨hal-00572230⟩

Yan Pennec

2010. ⟨hal-00573141⟩

Imade Fatani

2010. ⟨hal-00572715⟩

Laurent Diquelou

2010. ⟨hal-00572735⟩