Objectifs :

Synthèse de nouveaux matériaux fonctionnels : des couches minces aux nano fils 1. Matériaux fonctionnels pour la microélectronique et les MEMS.

2. Revêtement mécanique (matériau dur, résistance sous environnement sévère, la résistance corrosive, la durabilité, performances hydrodynamiques des surfaces).

Caractérisations

1. Physico-chimiques
2. Electriques et optiques

Design et fabrication de capteurs, transducteurs (HF), actionneurs

  Système de récupération d’énergie vibratoire, de stockage de l’énergie

Collaborations :

• avec IEMN : groupes AIMAN, MITEC, Opto

• autres labos : UMET, UCCS, C2N, CEA-LETI

• international : SICCAS (Shanghai), El Jadida (Maroc)