Publications

• Communication dans un congrès

Characterisation of silicon nitride thin films used as stressor liners on CMOS FETs

G. Raymond, Pascal Morin, Arnaud Devos, D.A. Hess, M. Braccini, F. Volpi

Proceedings of the Third International Conference on Innovations on Thin Films Processing and Characterisation, ITFPC07, 2007, Nancy, France. ⟨hal-00366988⟩

• Article dans une revue

Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications

G. Fleury, C. Malhaire, C. Populaire, Mireille Verdier, Arnaud Devos, J.L. Charvet, J.P. Polizzi

Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 126 (1), pp.48-51. ⟨10.1016/j.snb.2006.10.038⟩. ⟨hal-00293917⟩

• Pré-publication, Document de travail

The interface between a polar perovskite oxide and silicon from monoatomic lines

Isabelle Devos, Pierre Boulenc

We report a study on the interface between polar high-k materials and the Si(001)-(2X1) reconstructed surface with LaAlO3 taken as a prototype material. The construction of the interface is based on the prior growth of metal lines followed by oxidation, whose stability against oxygen coverage is…

2006. ⟨hal-00087421v2⟩

• Thèse

Microsystèmes Magnéto-Mécaniques (MMMS) pour le contrôle actif d'écoulements aérauliques., Magneto-Mechanical MicroSystems (MMMS) for active flow control.

Olivier Jean Ducloux

Situé à l'intersection des besoins de l'industrie aéronautique et des possibilités offertes par les microtechnologies, le travail présenté dans ce mémoire concerne le dimensionnement, la réalisation et la caractérisation de micro-actionneurs à membrane souple permettant la fabrication de…, Situated at the intersection between the needs of the Aerospace industry and the possibilities of the MEMS community, the thesis dealt with the dimensioning, realization and characterization of flexible membrane microvalves producing pulsed jets for active flow control on one hand, and of…

Mécanique des fluides [physics.class-ph]. Ecole Centrale de Lille; Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00137786⟩

• Article dans une revue

Dynamic response of carbon nanotube field-effect transistors analyzed by S-parameters measurement

Jean-Marc Bethoux, H. Happy, Gilles Dambrine, Vincent Derycke, M. F. Goffman, Jean-Philippe Bourgoin

Carbon nanotube field-effect transistors (CN-FET) with a metallic back gate have been fabricated. By assembling a number of CNs in parallel, driving currents in the mA range have been obtained. The dynamic response of the CN-FETs has been investigated through S-parameters measurements. A current…

Materials Science and Engineering: B, 2006, 135 (3), pp.294-296. ⟨10.1016/j.mseb.2006.08.022⟩. ⟨hal-00128188⟩

• Thèse

Conception et Réalisation de Micro-capteurs de Force à base de Jauges Piézorésistives pour la Caractérisation Mécanique d'Assemblages Cellulaires en Milieu Liquide, Design and Fabrication of Force Microsensors based on Piezoresistive Strain Gauges for Biocell Assembly Mechanical Characterization in Liquid Environment

Jean-Baptiste Bureau

Les microtechnologies permettent aujourd'hui de réaliser différents types de capteurs dont un domaine d'application émergeant est la caractérisation électrique et mécanique des cellules biologiques pour la détection précoce de pathologies. Dans ce contexte, le but du travail présenté est…, The use of microtechnologies enables the fabrication of various kinds of sensors that can be used to perform both the electrical and mechanical characterization of living cells. In this context, the goal of the present work is to develop a mechanical force/electrical voltage transducer whose…

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00131024⟩

• Thèse

Technologies microsystèmes avancées pour le fonctionnement de dispositifs en milieu liquide et les applications nanométriques, Advanced Microsystems technologies for the operation of devices in liquid medium and the nanometric application

Anne-Sophie Rollier

Ce travail s'inscrit dans le cadre du développement de sondes actives destinées à améliorer les performances des microscopes à force atomique (AFM) en vue de caractériser des objets nanométriques en milieu liquide avec une grande résolution spatiale et temporelle. Il s'agit d'un…, To handle cells requires the use of adapted tools. These tools have to establish the link between the microscopic and macroscopic world. The tools naturally adapted to this task are MEMS, they are micromechanical systems having a mobile part making it possible to put them in motion or to deform…

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00128689v2⟩

• Thèse

ÉTUDE EXPÉRIMENTALE ET NUMÉRIQUE DE L'INTERACTION DES ONDES DE LAMB EN PRÉSENCE D'ENDOMMAGEMENTS DANS DES STRUCTURES D'ALUMINIUM, EXPERIMENTAL AND NUMERICAL STUDY OF THE LAMB WAVES INTERACTION WITH ENCOUNTERED DAMAGE IN ALUMINUM STRUCTURES.

Farouk Benmeddour

Le Contrôle Non Destructif dans le domaine d'aéronautique connaît un fort développement. En particulier, les systèmes de Contrôle Santé Intégré par ondes de Lamb permettent une inspection rapide et continue des structures de type plaque. Ce travail est consacré à la compréhension des…, The Non Destructive Testing is more and more used in aeronautics field. Among the various techniques available, Integrated Health Monitoring (IHM) systems based on Lamb waves offer a convenient method for quick and continuous inspection of plate structures. This work is devoted to the understanding…

Acoustique [physics.class-ph]. Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00273325⟩

• Article dans une revue

Stability of gold/silica thin film interface: Electrochemical and surface plasmon resonance studies

Sabine Szunerits, Yannick Coffinier, Sébastien Janel, Rabah Boukherroub

This article reports chemical stability studies of a gold film electrode coated with thin silicon oxide (SiO_x) layers using electrochemical, surface plasmon resonance (SPR) and atomic force microscopy (AFM) techniques. Silica films with different thicknesses (d = 6.4, 9.7, 14…

Langmuir, 2006, 22 (25), pp. 10716-10722. ⟨10.1021/la060793o⟩. ⟨hal-00333549⟩

• Article dans une revue

The effect of oxidation on physical properties of porous silicon layers for optical applications

Parastesh Pirasteh, Joël Charrier, Ali Soltani, Severine Haesaert, Lazhar Haji, C. Godon, Nicolas Errien

In order to understand the optical loss mechanisms in porous silicon based waveguides, structural and optical studies have been performed. Scanning and transmission electron microscopic observations of porous silicon layers are obtained before and after an oxidation process at high temperature in…

Applied Surface Science, 2006, Vol.253 (Issue 4), pp.1999-2002. ⟨10.1016/j.apsusc.2006.03.083⟩. ⟨hal-00187580⟩