Publications

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Structures piézoélectrique à fort coefficient de couplage pour des applications MEMS

Reda Aitayad, Julien Carlier, Denis Remiens, Pierre Campistron, Hatem Dahmani, Karim Dogheche, Malika Toubal

L'oxyde de zinc présente la réponse piézoélectrique la plus forte parmi les semi-conducteurs à liaison tétraédrique ; par conséquent, il a été largement utilisé dans les systèmes microélectromécaniques tels que les capteurs et actionneurs, ainsi que dans le domaine des communications comme…

Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254658⟩

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Réseau de sources pour le Contrôle Non Destructif par Ultrasons-Laser

Maha Karam, Meriem Chrifi Alaoui, Frédéric Jenot, Mustapha Baher, Rabih Tauk, Mohammadi Ouaftouh, Jihane Jabbour, Marc Duquennoy, Jamal Assaad

Le Contrôle Non Destructif (CND) par Ultrasons repose sur de nombreux types de sources souvent basées sur l'utilisation de transducteurs piézoélectriques. Néanmoins, la méthode Ultrasons-Laser qui permet de générer et détecter des ondes acoustiques sans contact a été largement exploitée pour…

Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254498⟩

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Génération et détection d'ondes de Rayleigh dans des échantillons du type couche sur substrat

Meriem Chrifi Alaoui, Frédéric Jenot, Marc Duquennoy, Dame Fall, Fan Zhang, Romain Hodé, Quang Anh Vu, Hélène Petitpré

Une étude de faisabilité concernant la génération et la détection d'ondes de Rayleigh a été menée dans le cadre d'une collaboration entre l'IEMN – Site de Valenciennes et le CETIM. Les échantillons réalisés par le CETIM présentent une structure couche sur substrat (tous deux en…

Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254462⟩

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Micromachining and Packaging of Smart Probes for Sub-mmW on-Wafer Measurements

Maya Alawar, Victor Fiorese, Daniel Gloria, Guillaume Ducournau, Emmanuel Dubois

In recent years, advanced silicon technologies are well-suited for designing integrated circuits optimized in G-band (140-220GHz). Validating these technologies requires the integration of active probes in functional packages, achieved by implementing the femtosecond laser micro-structuring…

Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254742⟩

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Modes de Rayleigh Générés et Détectés Par Lasers Pour la Caractérisation de l'Adhérence

Mustapha Baher, Meriem Chrifi Alaoui, Frédéric Jenot, Mohammadi Ouaftouh, Marc Duquennoy

L'adhérence permet d'évaluer la qualité du contact entre deux surfaces c'est-à-dire la capacité de différentes particules à se maintenir ensemble. Elle est souvent considérée comme le facteur prédominant pour la fiabilité des revêtements dans les technologies liées aux films minces.…

Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254657⟩

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IEMN - Deposition Techniques in Clean Room

Isabelle Roch-Jeune, Marc Dewitte, Carlos Moncasi, Chiara Crivello, David Guérin, Guillaume Cochez, Jérémie Chaillou

Renatech dépôts 2023, Oct 2023, Dijon, France. ⟨hal-04526167⟩