Publications
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Micro gripper driven by SDAs coupled to an amplification mechanism
O. Millet, P. Bernardoni, S. Regnier, P. Bidaud, D. Collard, L. Buchaillot
2003, pp.280-283. ⟨hal-00146439⟩
Fabrication and characterization of a SU-8 gripper actuated by SMA thin film
I. Roch, P. Bidaud, D. Collard, L. Buchaillot
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2003, 13, pp.330-336. ⟨hal-00146418⟩
Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ
O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot
16ème Congrès Francais de Mécanique, 2003, Nice, France. ⟨hal-00146455⟩
Conception et fabrication de fils optiques en filière InP
Arnaud Beaurain, Samuel Dupont, Jean-Pierre Vilcot, Didier Decoster, L. Dobrzynski, Bahram Djafari-Rouhani, Abdellatif Akjouj, Jerome O. Vasseur, Mohamed Bouazaoui
Actes du Congrès général de la Société Française de Physique, 2003, Lyon, France. ⟨hal-00146539⟩
Low-profile directive quasi-planar antennas based on millimeter wave Fabry-Perot cavities
Ronan Sauleau, Philippe Coquet, T. Matsui
IEE Proceedings Microwaves Antennas and Propagation, 2003, 150 (4), pp.274-278. ⟨hal-00549362⟩
Biomolecule characterizations by millimeter waves
Bertrand Bocquet, Nour Eddine Bourzgui, Yannick Guhel, Vianney Mille
Proceedings of the 12th European Workshop on Heterostructure Technology, heTech 03, Oct 2003, Madrid, Spain. ⟨hal-00146390⟩
Millimeter and sub-millimeter waves for MEMS biosensors
Bertrand Bocquet, Nour Eddine Bourzgui, Yannick Guhel
11" IEEE International Conference on Terahertz Electronics, THz'2003, Sep 2003, Sendai, Japan. pp.46. ⟨hal-00146387⟩
Nouveaux guides optiques sub-micrométriques à base de matériaux III-V et polymères pour circuits photoniques et micro-ondes ultra-compacts
D. Lauvernier, Joseph Harari, Jean-Pierre Vilcot, Didier Decoster
Actes de TELECOM 03 et 3èmes Journées Franco-Maghrébines des Microondes et leurs Applications, JFMMA 2003, 2003, Marrakech, Maroc. ⟨hal-00146532⟩
Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated 2D AlGaAs heterostructures : a possible new route of fabricating III-V nanostructures
L. Kurowski, D. Bernard-Loridant, E. Constant, Didier Decoster
7th International Workshop on Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors, 2003, Lille, France. ⟨hal-00146558⟩
Composants non-linéaires de la microélectronique pour les applications dans le spectre millimétrique et submillimétrique
X. Melique, O. Vanbésien, D. Lippens
GDR Nanoélectronique : 1ères Journées Nationales Composants pour la micro et nano-électronique, 2003, Grenoble, France. ⟨hal-00146084⟩