Publications

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  • Autre publication scientifique

Développement d'une méthode d'estimation de la génération transitoire d'ondes de Lamb

L. Duquenne

2003. ⟨hal-00147097⟩

  • Communication dans un congrès

Tapping-mode HF nanometric lateral gap resonators : experimental and theory

E. Quevy, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot

2003, pp.879-882. ⟨hal-00146456⟩

  • Communication dans un congrès

Modeling and experimental validation of silicon nanotip oxidation : towards a nanoelectromechanical filter application

Vincent Agache, Patrice Bigotte, Bernard Legrand, Vincent Senez, Lionel Buchaillot, Dominique Collard

This study aims at modeling the thermal oxidation of silicon pedestals leading to the formation of sharp silicon tips. The model is used to determine optimum process parameters taking into account the initial shape of the silicon pedestal shapes, and the geometry of the desired tip. Experimental…

12th International Conference on Solid-State Sensors, Jun 2003, Boston, United States. pp.1287-1290, ⟨10.1109/SENSOR.2003.1217008⟩. ⟨hal-00146438⟩

  • Communication dans un congrès

A 100V-IC for the remote powering and control of a microrobot using an electrostatic ciliary motion system

Philippe Basset, A. Kaiser, B. Stefanelli, M. Walenne, D. Collard, L. Buchaillot

2003, pp.1711-1713. ⟨hal-00146436⟩

  • Communication dans un congrès

A novel approach using picosecond ultrasonics at variable laser-wavelength for the characterization of AlN films used for microsystem applications

Arnaud Devos, G. Caruyer, C. Zinck, P. Ancey

2003, pp.793-796. ⟨hal-00144891⟩

  • Communication dans un congrès

Etude physique des HEMTs à base de nitrure de gallium

M. Elkhou, Michel Rousseau, Jean-Claude de Jaeger

2003, pp.6A-1. ⟨hal-00146667⟩

  • Communication dans un congrès

Investigations des propriétés magnéto-élastiques critiques induites par la nanostructuration des films à magnétostriction géante : applications MEMS

S. Masson, S. Euphrasie, O. Ducloux, C. Sion, Philippe Pernod, Vladimir Preobrazhensky, J.P. Jay, D. Spenato, S. Petit, J. Teillet, J. Jurascek

Journée Nanosciences-Nanotechnologies, 2003, Paris, France. ⟨hal-00146153⟩

  • Communication dans un congrès

Investigations des propriétés magnéto-élastiques critiques induites par la nanostructuration des films à magnétostriction géante : applications MEMS

Steve Masson, S. Euphrasie, O. Ducloux, C. Sion, Philippe Pernod, Vladimir Preobrazhensky, Henri Le Gall, J.P. Jay, D. Spenato, S. Petit, Jamal Ben Youssef, J. Teillet, Jean Juraszek

Journées Nationales du Réseau Micro et Nano Technologies, 2003, Lille, France. ⟨hal-00146152⟩