Publications

• Communication dans un congrès

Detection of the damage in concrete cover using ultrasound

Bogdan Piwakowski, S. Ould-Naffa, M. Goueygou, F. Buyle-Bodin

Proceedings of the 2002 Workshop on Nondestructive Testing of Materials and Structures, NTM'02, 2002, Warsaw, Poland. ⟨hal-00250224⟩

• Communication dans un congrès

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi

Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩

• Communication dans un congrès

Study of adhesive forces on a silicon nanotip force microscope in contact mode

Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot

Atomic Force Microscope operating in contact mode is used in this paper for probing the spatial distribution of adhesive forces versus the topography of a silicon nanotip. This nanotip consists in an ultra sha4rp silicon tip with radius less than 15 nm fabricated using a combination of high-…

Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 2002, Cannes, France. pp.601-612, ⟨10.1117/12.462861⟩. ⟨hal-00148788⟩

• Article dans une revue

Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS)

O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot

Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2002, 41, pp.L1339-L1341. ⟨hal-00250391⟩

• Article dans une revue

Large stroke actuation of continuous membrane for adaptive optics by 3D self-assembled microplates

E. Quevy, P. Bigotte, D. Collard, L. Buchaillot

Sensors and Actuators A: Physical , 2002, A95, pp.183-195. ⟨hal-00148769⟩

• Article dans une revue

From nanoelectronics to nanotechnology

Emmanuel Dubois

Belgian Journal of Electronics & Communications HF, 2002, 3, pp.9-16. ⟨hal-00250387⟩

• Communication dans un congrès

Mesure de l'atténuation des ondes ultrasonores dans un milieu fortement absorbant

M. Goueygou, Bogdan Piwakowski, S. Ould Naffa, F. Buyle-Bodin

Actes du 6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, Lille, France. ⟨hal-00250222⟩

• Communication dans un congrès

Modulateur acousto-optique à puits quantiques

F. Sainte-Rose, Joseph Gazalet, Jean-Etienne Lefebvre, Tadeusz Gryba

6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, France. pp.289-291. ⟨hal-00250197⟩

• Article dans une revue

Photo-induced dissociation and optical cross section of Si-H and S-H complexes in GaAs and AlGaAs

M. Barbe, F. Bailly, Jérome Chevalier, S. Silvestre, D. Loridant-Bernard, L. Kurowski, E. Constant, M. Constant

Materials Research Society Symposia Proceedings, 2002, 719, pp.289-294. ⟨hal-00278933⟩

• Communication dans un congrès

Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, D. Collard

2002, pp.447-450. ⟨hal-00148736⟩