Publications

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  • Article dans une revue

Silicon-microtube scaffold decorated with anatase TiO2 as a negative electrode for a 3D litium-ion microbattery

Etienne Eustache, Pascal Tilmant, Laurence Morgenroth, Pascal Roussel, Gilles Patriarche, David Troadec, Nathalie Rolland, Thierry Brousse, Christophe Lethien

An optimized scaffold based on silicon microtubes is designed to increase the surface capacity of 3D lithium-ion microbatteries. High-depth, mechanically robust microstructures are fabricated using microelectronic facilities. Conformal deposition of anatase TiO2 is achieved using atomic layer…

Advanced Energy Materials, 2014, 4, 1301612, 11 p. ⟨10.1002/aenm.201301612⟩. ⟨hal-00999999⟩

  • Communication dans un congrès

Noise performance of frequency modulation Kelvin force microscopy

H. Diesinger, D. Deresmes, Thierry Melin

5th International Workshop on Advanced Scanning Probe Microscopy Techniques, ASXMT 2014, 2014, Karlsruhe, Germany. ⟨hal-00951552⟩

  • Communication dans un congrès

Patterning innovative conducting interpenetrating polymer network by dry etching

Alexandre Khaldi, Ali Maziz, Cedric Plesse, Caroline Soyer, Dominique Teyssié, Frederic Vidal, Eric Cattan

Interpenetrating polymer networks, as biomimetic actuators, can become successful actuators in the field of microsystems providing they are compatible with micro-technologies. In this paper, we report a novel material synthesized from poly(3,4-ethylenedioxythiophene) and polyethylene oxide)/nitrile…

IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics, AIM 2014, 2014, Besançon, France. ⟨10.1109/AIM.2014.6878282⟩. ⟨hal-01058046⟩

  • Communication dans un congrès

Contrôle de la porosité dans des films d'or pour des micro-supercondensateurs

Aymeric Pastre, K. Raulin, Alexandre Boé, Nathalie Rolland, Odile Cristini, R. Bernard

Cet article présente un matériau d'électrode original pour les micro-supercondensateurs basé sur un film mince d'or poreux. Le procédé de fabrication implique le dépôt d'or par un procédé de chimie en solution. L'utilisation de polymères comme templates nous permet de générer…

17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p. ⟨hal-01018420⟩

  • Communication dans un congrès

Lignes de transmission imprimées pour les applications RF jusqu'à 67 GHz

Mohamed Moez Belhaj, Wei Wei, Emiliano Pallecchi, Colin Mismer, Isabelle Roch-Jeune, Henri Happy

Cette lettre présente la caractérisation radiofréquence (RF) des guides d'ondes coplanaires (CPW) imprimées avec et sans déformation. Le PET et le Kapton sont choisis comme substrats souples avec des températures de frittage différentes. Avec les paramètres d'impression à jet d'encre…

17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, May 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 4 p. ⟨hal-01018390⟩