Publications

• Autre publication scientifique

Electromouillage sur diélectrique (EWOD) : conception et réalisation de dispositifs microfluidiques originaux sur surfaces superhydrophobes

Florian Lapierre

2011. ⟨hal-00579037⟩

• Communication dans un congrès

Absence of giant surface piezo resistance in silicon nanowires

J.S. Milne, S. Arscott, A.C.H. Rowe

18th Interdisciplinary Surface Science Conference, ISSC-18, 2011, Warwick, United Kingdom. ⟨hal-00579033⟩

• Article dans une revue

Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process

Etienne Herth, Emmanuelle Algré, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot

This paper presents the optimization of polysilicon doping and metallization to form ohmic contact with etching resistance. Indeed, polysilicon doped by ion implantation and ohmic contacts are an important and interesting part of integrated circuit technology or MEMS and NEMS. LPCVD-polysilicon…

Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩. ⟨hal-02300269⟩

• Communication dans un congrès

Characterization and modeling for the piezoelectric actuator of AlGaN/GaN-resonators

Achraf Ben Amar, Marc Faucher, Bertrand Grimbert, Virginie Brandli, Lionel Buchaillot, Christophe Gaquière, Didier Theron

20th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2011, 2011, Villeneuve d'Ascq, France. pp.1-2. ⟨hal-00800035⟩

• Communication dans un congrès

Nanofils et énergie : un domaine en forte expansion

Pere Roca I Cabarrocas, C. Lethien, Thierry Brousse, N. Guillet, A. Gruss, Agnès Bonvilain, G. Savelli, J. Stockholm, Luc Brohan, S. Perraud, T. Pauporte

Séminaire Annuel de l'Observatoire des Micro et Nanotechnologies, 2011, Paris, France. ⟨hal-00574515⟩

• Autre publication scientifique

BioMEMS pour l'analyse de cellules biologiques par spectroscopie d'impédance

Timothée Houssin

2011. ⟨hal-00574525⟩

• Communication dans un congrès

Prototyping of a like insect flapping wing object

A. Bontemps, T. Vanneste, X.Q. Bao, J.B. Paquet, Sébastien Grondel, Eric Cattan

International Workshop on Bio-inspired Robots, 2011, Nantes, France. ⟨hal-00591400⟩

• Communication dans un congrès

Transport in quantum dots made from InAs nanowires

A. Ghaddar, P. Caroff, David Troadec, X. Wallart, D. Stiévenard, R. Leturcq

Thematic Days on Nanowires and Applications, GDR 2974, 2011, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00591403⟩

• Communication dans un congrès

Nanobiodetectors

D. Stievenard, B. Grandidier, J.P. Nys, T. Xu, O. Melnyk, N. Olivier, A. Blanpain, R. Desmet, N. Dendane, Rabah Boukherroub, Yannick Coffinier

Thematic Days on Nanowires and Applications, GDR 2974, 2011, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00591405⟩

• Article dans une revue

IEMN/LEMAC magneto-mechanical microjets and micro-hotwires and aerodynamic active flow control

Philippe Pernod, A. Merlen, Abdelkrim Talbi, Vladimir Preobrazhensky, R. Viard, L. Gimeno, O. Ducloux

International Journal of Aerodynamics, 2011, 1, pp.243-261. ⟨10.1504/IJAD.2011.038844⟩. ⟨hal-00591322⟩