Publications

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  • Communication dans un congrès

Modeling and experimental validation of silicon nanotip oxidation : towards a nanoelectromechanical filter application

Vincent Agache, Patrice Bigotte, Bernard Legrand, Vincent Senez, Lionel Buchaillot, Dominique Collard

This study aims at modeling the thermal oxidation of silicon pedestals leading to the formation of sharp silicon tips. The model is used to determine optimum process parameters taking into account the initial shape of the silicon pedestal shapes, and the geometry of the desired tip. Experimental…

12th International Conference on Solid-State Sensors, Jun 2003, Boston, United States. pp.1287-1290, ⟨10.1109/SENSOR.2003.1217008⟩. ⟨hal-00146438⟩

  • Communication dans un congrès

Antennes et réseaux d'antennes millimétriques multi-couches micro-usinées sur Silicium

Arc'Hanmael Gaillard, Ronan Sauleau, Hervé Lhermite, Philippe Coquet

Treizièmes Journées Nationales Micro-ondes, May 2003, Lille, France. 4 p. ⟨hal-00553226⟩

  • Article dans une revue

Very low Schottky barrier to n-type silicon with PtEr-stack silicide

Xing Tang, J. Katcki, Emmanuel Dubois, N. Reckinger, J. Ratajczak, G. Larrieu, P. Loumaye, O. Nisole, V. Bayot

We investigate Er silicide formed on n-type silicon. In order to protect the Er from oxidation during the formation of Er silicide in non-UHV conditions, a Pt layer is deposed successively on top of Er layer. Surprisingly, we observe that Pt remains essentially unaffected in the formation of Er…

Solid-State Electronics, 2003, 47 (11), pp.2105-2111. ⟨10.1016/S0038-1101(03)00256-9⟩. ⟨hal-00146401⟩

  • Article dans une revue

Free carrier mobility in AlGaN/GaN quantum wells

J-L Farvacque, Z. Bougrioua, F. Carosella, I Moerman

Journal of Physics: Condensed Matter, 2002, 14 (48), pp.13319-13328. ⟨10.1088/0953-8984/14/48/384⟩. ⟨hal-02906518⟩

  • Chapitre d'ouvrage

Les photodiodes métal-semiconducteur-métal (MSM)

Joseph Harari, V. Magnin

DECOSTER D., HARARI J. Détecteurs optoélectroniques, Hermès Sciences, Lavoisier, 244 p., 2002. ⟨hal-00132033⟩

  • Chapitre d'ouvrage

Les photodiodes à avalanche

G. Ripoche, Joseph Harari

DECOSTER D., HARARI J. Détecteurs optoélectroniques, Hermès Sciences, Lavoisier, pp.149-169, 2002. ⟨hal-00132035⟩

  • Ouvrages

Détecteurs optoélectroniques

Didier Decoster, Joseph Harari

Hermès Sciences, Lavoisier, 244 p., 2002. ⟨hal-00132039⟩