Publications

• Communication dans un congrès

New package-free silicon microsensors for infrared and thermal flow measurements. Potential automotive applications

M. Haffar, Yala M. Ait-Hammouda, K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq

Proceedings of 2005 Sensors & Actuators for Advanced Automotive Applications, SENSACT 2005, 2005, Noisy-Le-Grand, France. ⟨hal-00131328⟩

• Communication dans un congrès

Development of new thermal systems of human presence detection intended to introduce innovating functionalities into housing

M. Aithammouda, M. Haffar, K. Ziouche, P. Godts, D. Leclercq

Proceedings of 2005 Innovative Technologies for Infrastructure and Housing, 2005, Lille, France. ⟨hal-00131327⟩

• Communication dans un congrès

3D self-assembling of SU-8 microstructures on silicon by plasma induced compressive stress

Jean-Baptiste Bureau, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot

This paper presents the development of suspended movable microstructures made of SU-8 photoresist where compressive stress leads to 3D self-assembled microstructures. Internal compressive stress in the photoresist is induced by an SF/sub 6/ based plasma process. Clamped-clamped beam structures have…

13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05., Jun 2005, Seoul, South Korea. pp.19-22, ⟨10.1109/SENSOR.2005.1496348⟩. ⟨hal-00128655⟩

• Communication dans un congrès

Caractérisation DC-pulsé grand signal de HEMTs de puissance

N. Defrance, H. Gerard, E. Morvan, Jean-Claude de Jaeger

Actes des 14èmes Journées Nationales Microondes, 2005, Nantes, France. ⟨hal-00126751⟩

• Autre publication scientifique

Etude de faisabilité de circuits pour systèmes de communication en bande millimétrique, en technologie BiCMOS SiGeC 0,13 µm

S. Pruvost

2005. ⟨hal-00126188⟩

• Autre publication scientifique

Utilisation des technologies CMOS SOI 130 nm pour des applications en gamme de fréquences

C. Pavageau

2005. ⟨hal-00126201⟩

• Autre publication scientifique

Réalisation et caractérisation de transistors HEMTs AlInAs/GaInAs de longueur de grille sub-50 nanomètres et de transistors sans couche tampon

I. Duszynski

2005. ⟨hal-00126203⟩

• Communication dans un congrès

Microsystèmes, résonateurs électromécaniques : où cela nous mène-t-il ?

Vincent Agache, Emmanuel Quévy, Olivier Millet, Anne-Sophie Rollier, Roger Ringot, Dominique Collard, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot

Ecole Nanosciences, 2005, Anglet, France. ⟨hal-00126215⟩

• Communication dans un congrès

Jonctions silicium-molécules-métal réalisées par nanotransfer printing : synthèse chimique et propriétés électriques

David Guérin, C. Merckling, S. Lenfant, D. Vuillaume

Journées des Polymères Conducteurs, 2005, Nantes, France. ⟨hal-00126221⟩

• Communication dans un congrès

A radio over multimode fibre system based on a LO phase-noise cancellation for 60 GHz WLAN

Christophe Loyez, C. Lethien, N. Deparis, Jean-Pierre Vilcot, Didier Decoster, N. Rolland, P.A. Rolland

2005, 3 pp. ⟨hal-00126764⟩