Publications

• Article dans une revue

Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process

Etienne Herth, Emmanuelle Algré, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot

This paper presents the optimization of polysilicon doping and metallization to form ohmic contact with etching resistance. Indeed, polysilicon doped by ion implantation and ohmic contacts are an important and interesting part of integrated circuit technology or MEMS and NEMS. LPCVD-polysilicon…

Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩. ⟨hal-02300269⟩

• Communication dans un congrès

A 20-23GHz coupled oscillators array in 65nm CMOS for HDR 60GHz beamforming applications

M. Egot, B. Martineau, O. Richard, N. Rolland, A. Cathelin, A. Kaiser

37th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2011, 2011, Helsinki, Finland. paper ID 5262, 463-466. ⟨hal-00800005⟩

• Communication dans un congrès

Polymer-based flapping-wing robotic insects : progresses in wing fabrication, conception and simulation

T. Vanneste, A. Bontemps, X.Q. Bao, Sébastien Grondel, J.B. Paquet, Eric Cattan

ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-63602-1-8. ⟨hal-00800403⟩

• Communication dans un congrès

Prototyping of a like insect flapping wing object

A. Bontemps, T. Vanneste, X.Q. Bao, J.B. Paquet, Sébastien Grondel, Eric Cattan

International Workshop on Bio-inspired Robots, 2011, Nantes, France. ⟨hal-00591400⟩

• Communication dans un congrès

Visualisation de l'écoulement autour d'une aile d'insecte artificielle

Thomas Vanneste, Jean-Paul Bourez, Jean-Bernard Paquet, Sébastien Grondel, Eric Cattan

Le projet d'insecte artificiel IN-ART vise à la réalisation d'un nano-drone à ailes vibrantes de la taille d'un insecte en s'appuyant sur le biomimétisme pour reproduire ses battements d'ailes. Les prototypes, réalisés à l'aide des techniques de fabrication…

14ème Congrès Français de Visualisation et de Traitement d'Images en Mécanique des Fluides, FLUVISU 14, 2011, Lille, France. pp.1-9. ⟨hal-05028409⟩

• Communication dans un congrès

Modélisation aérodynamique d'un nano-drone à ailes vibrantes

T. Vanneste

9èmes Journées des Doctorants MFE/Nord (DAAP/DAFE/DEFA/DSNA), 2011, Châtillon, France. ⟨hal-00591399⟩

• Communication dans un congrès

Transmissions radio haut débit sur fibres optiques appliquées aux transports terrestres

D. Loum, C. Tatkeu, Iyad Dayoub, M. Heddebaut, Jean-Michel Rouvaen

TELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Maroc. CDROM, session E1, papier 95, 1-5. ⟨hal-00591370⟩

• Communication dans un congrès

Preparation of superomniphobic silicon nanowire surfaces with high robustness

T.P.N. Nguyen, Philippe Brunet, Yannick Coffinier, V. Thomy, Rabah Boukherroub

Thematic Days on Nanowires and Applications, GDR 2974, 2011, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00591404⟩

• Chapitre d'ouvrage

Helping psychology students improve their statistics performance: A test of the Exo-St@ts web-based training environment

M Delaval, Olivier Le Bohec, Y. Noel, N Michinov, Alessandro Guida, S Musca, V Dodeler

Education in a Technological World: Communicating Current and Emerging Research and Technological Efforts / ed. A. Mendez-Vilas, Formatex, pp.231-236, 2011, 978-84-939843-3-5. ⟨hal-01759547⟩

• Article dans une revue

Functionalization of silicon nanowires for specific sensing

V. Passi, Emmanuel Dubois, C. Celle, S. Clavaguera, J.P. Simonato, J.P. Raskin

Thanks to their large surface-to-volume ratio, silicon nanowires (Si NWs) are extremely sensitive to all phenomena which could alter their surface potential and charge distribution. Those surface variations lead to a change of the Si NWs equivalent conductance. The use of the output conductance of…

ECS Transactions, 2011, 35, pp.313-318. ⟨10.1149/1.3570811⟩. ⟨hal-00591351⟩