Publicaciones

Affichage de 4071 à 4080 sur 6549


  • Article dans une revue

Rupture dans la chaîne de légalité : que faire ?

Marie-Christine Rouault

Procédures, 2015, No 10 alerte 38. ⟨hal-02885848⟩

  • Communication dans un congrès

Self-adaptive tramway driver's statebased system for an eco-energetic command, Commande éco-énergétique d’un système auto-adaptatif à l’état du conducteur de tramway

Salvatore La Delfa, Simon Enjalbert, Philippe Polet, Frédéric Vanderhaegen

Journée Doctorale et de l’Innovation de Railenium, Railenium, Oct 2015, Lille, France. ⟨hal-03518750⟩

  • Article dans une revue

Acoustic Characterization of Patterning Degradation during Wet Etching

Christophe Virgilio, Philippe Garnier, Mathieu Foucaud, Arnaud Devos, David Pinceau, Julien Carlier, Pierre Campistron, Bertrand Nongaillard, Marc Neyens, Lucile Broussous

Photoresist degradation can occur during wet etching processes due to chemicals diffusion through the polymer. The adhesion of the resist is not guaranteed anymore and damage on the resist / material interface appears. This phenomenon is usually monitored by optical methods. However, invisible...

ECS Transactions, 2015, 69 (8), pp.185-190. ⟨10.1149/06908.0185ecst⟩. ⟨hal-03560465⟩